一、 概述

   充氦充氮氟油检漏平台是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。该装置上装备有PLC(可编程程序控制器)，对整个检漏过程可以进行自动控制和运行，可有效防止误操作和提高检漏效率。而且在该设备的氮气罐上装有光电检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。该设备自动化程度高，具有较高的可靠性。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。

   二、V-60型氦气氟油加压仪与重氟油加热仪和氦质谱检漏仪配合，能够轻松完成GJB36A-96、GJB548-96A和                           GJB128A-97标准中规定的对电子和半导体器件的检漏要求。

   三、原理说明

  四、产品特点: 

PLC控制，触摸屏操作；有液面高度自动控制和过程状态显示； 

压氦和压氟油分开，各自独立进行，灵活且互不干扰；

阀门、管道、法兰、压力罐和储油罐等为不锈钢制造；

滤油罐可滤除1μm的固体颗粒，确保氟油清洁。

 五、主要技术功能：

     六、配置：

    七、重氟油加热仪特点：

重氟油加热仪容器有一定深度，以保证被检件浸入后距液面距离要大于50mm；

内表面是不反射的黑色背景；配有3倍的放大镜，角度可调节；

仪器上所装光源充足，发平行光；

仪器内部各处的照度为大于1.61×105lX，光源对观察者无强烈的入射和反射光；

加热温度可控可调，放入检漏提醒时间可以设定。                          

说明：GJB128A-1997规定，高沸点氟油（FC43）中不允许有大于1μm的颗粒，但在实际检漏中，由于被检件及环境等因素的影响，油中会逐渐积聚一些杂质，使氟油的混浊度增加，不便于观察，所以重氟油应经常过滤，重氟油容器配有放油口，可以便捷放重氟油。重氟油在自然冷却后可以放入壶中存储，减少自然挥发浪费。

八、指标功能：

     九、配置：